イージートレースヒータ

小径配管に、もっと高密着で、もっと均一な加熱を。

イージートレースヒータは、国友エンジニアリングが長年培ってきた配管ヒーター技術をもとに開発した独自製品です。
半導体製造装置の小型化・高密度化が進む現場に対応するため、薄型・軽量・柔軟性を備え、小径配管や複雑形状にも高い密着性で対応。優れた温度分布の均一性により、より安定した加熱を実現します。

小型化・複雑化する装置環境に応える、新しい配管加熱のかたち

イージートレースヒータは、小径配管や狭小スペースへの対応を目的に開発された、国友エンジニアリングの独自ヒーターです。
従来、温度分布を安定させるためにはアルミブロックを組み合わせた構造が必要となる場合がありましたが、その一方で、外形が大きくなる、重量が増す、取り回しが難しくなるといった課題もありました。

イージートレースヒータは、こうした課題に対し、柔軟な発熱体と高密度ピッチ設計によって配管への密着性を高めることで、コンパクトでありながら高い温度均一性を実現。
半導体製造装置をはじめ、小型化・高性能化が求められる現場に適した製品として展開しています。

イージートレースヒータの特長

小径配管にも高密着で対応

イージートレースヒータは、小径配管への取り付けを前提に設計された製品です。
柔軟性のある構造により、配管表面へしっかりと追従し、高い密着性を確保。熱を効率よく伝えやすく、小径配管特有の加熱ムラを抑えます。

優れた温度分布の均一性

従来のジャケットヒーターでは、構造上どうしても温度のばらつきが生じやすい場面がありました。
イージートレースヒータは、発熱体の配置や密着性を最適化することで、より均一な温度分布を実現。安定した加熱性能が求められる現場に適しています。

薄型・軽量・柔軟で取り回しやすい

アルミブロックを必要としない構造により、製品の薄型化・軽量化を実現。
装置内の限られたスペースにも対応しやすく、施工性や取り回しの面でもメリットがあります。複雑な配管経路に対しても、より柔軟な対応が可能です。

鋭角や90度曲げなど複雑形状にも対応

イージートレースヒータは、単純な直線配管だけでなく、鋭角部や90度曲げを含む複雑な形状にも対応しやすいことが大きな特長です。
細径配管が多く、レイアウト条件が厳しい装置まわりでも、高い適合性を発揮します。

装置の小型化・高密度化に適した設計思想

半導体製造装置の進化に伴い、配管やバルブはより小さく、より密集した構成へ変化しています。
イージートレースヒータは、そうした市場変化を見据えて開発されており、小型化が進む装置環境の中でも、安定した温度管理を支える製品です。

従来製品との違い

コンパクトさと温度性能を両立する、新しい選択肢

従来の配管加熱では、温度分布の均一化を図るためにアルミブロックを用いる方法が一般的でした。
一方で、その方法では製品サイズや重量が増し、装置設計や取り回しの面で制約となる場合があります。

イージートレースヒータは、こうした構造上の課題に対し、配管への高密着化によって熱伝達効率を高め、アルミブロックに頼らず高い温度均一性を追求した製品です。
コンパクトで軽量、しかも複雑形状にも対応しやすいことから、より自由度の高い加熱設計を可能にします。

製品だけでなく、課題の本質からご提案します

国友エンジニアリングは、イージートレースヒータを単なる製品としてではなく、お客様の課題を解決するための選択肢のひとつとしてご提案しています。
ご要望をそのまま形にするのではなく、用途や制約条件、装置全体との関係まで確認しながら、本当に必要な仕様をご一緒に整理していくことが当社の強みです。

イージートレースヒータについても、長年の技術蓄積と現場理解をもとに、より適した形でご提案いたします。